為電子顯微鏡觀察用所制作的極薄的組織切片。現在廣泛采用的超薄切片制作法是將戊二醛、鋨酸等固定的組織塊包埋在環氧樹脂等包埋劑中，用安裝在超薄切片機上的玻璃刀或鉆石刀切成100納米左右的超薄切片。如直接觀察原切片，因對比度低而不易觀察，所以需作電子染色，然后再行鏡檢。采用這種方法已明確了細胞內部的許多超微結構。